低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气他的着火电压时，气体分钟被击穿，产生包括电子、各种离低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

对于粉尘处理中布袋除尘设备来说，其使用温度取决于两个因素，第一是滤料的最高承受温度，第二是气体温度必须在露点温度以上。目前，由于玻纤滤料的大量选用，其最高使用温度可达280℃，对高于这一温度的气体必须采取降温措施，对低于露点温度的气体必须采取提温措施，以免水分与灰尘结合使布袋糊死。对于袋式除尘设备来说，使用温度与除尘效率关系并不明显，这一点不同于电除尘，对粉尘处理电除尘器来说，温度的变化会影响到粉尘的比电阻等影响粉尘处理除尘效率。

活性碳吸附法是利用活性炭内部空隙结构发达，有巨大比表面积原理来吸附通过活性炭池的恶臭废气分子，初期处理效率可达65%，但极易饱和，通常数日即失效，需要经常更换，并需要寻找废弃活性碳的处理办法，运行维护成本很高，适用于低浓度、大风量气体，对醇类、脂肪类效果较明显，但湿度大的废气效果不明显，且容易造成环境二次污染。

再根据不同的废气成分配置的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，光源接触，惰性催化剂在纳米光源以下发生催化反应，放大80-20倍光源效果，使低温等离子净化器价格其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，专业低温等离子净化器对废气进行净化效果，通过三重处理后的废气其除臭高可达95%以上，净化、脱臭效果大大超过GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》二级排放标准，GB14554-93《恶臭污染物排放标准》。经高能紫外线光解催化氧化处理后的废气通过后端风机抽风形成负压从烟囱达标的排放到大气中。

催化燃烧废气处理技术是 20 世纪 40 年代末出现的。从 1949 年美国研制出世界上第一套催化燃烧装置到现在，该技术已广泛地应用于油漆、橡胶、塑料、树脂、皮革、食品和铸造等领域，也用于汽车尾气净化等方面。中国在 1973 年开始将催化燃烧法用于治理漆包线烘干炉排出的有机废气，随后又在绝缘材料、印刷工业等方面进行了研究，使催化燃烧法得到了广泛的应用。经过多年来的发展与改良，催化燃烧装置具有其特有的优势：（1） 可处理绝大多数VOCs 废气；（2）可将有机化合物氧化分解成无毒无害的 CO2 气体与 H2O；（3）分解效率高达 95%以上，无需作后续处理；（4）可在低温（200~400 ℃）下对 VOCs 进行分解，燃料消耗量低（节能）；（5）催化剂使用寿命长，可根据入口气体的风量与 VOCs含量推断催化剂的使用时间，且催化剂可进行再生利用；（6）设备内为负压结构（风机设置在设备内部下游），可有效防止臭气渗漏；（7）具有高度安全性，能在低温下进行反应，无粉尘爆炸的危险；（8）处理效率在 99%以上（彻底除臭）。催化燃烧装置的缺点：（1）对于较大风量且低VOCs 质量浓度废气而言，处理费用相对过高，可协同沸石滚轮浓缩设备进行废气浓缩后再作催化氧化处理；（2）用于处理 VOCs 的氧化用催化剂当遇见硫、磷、硅等物质时会发生催化剂中毒现象，因此需要设置预处理步骤。