催化燃烧装置是一种通过氧化催化剂对加热至一定温度的废气催化氧化，使其生成无害的 CO2 与 H2O 的工艺设备。与传统蓄热燃烧、直燃式热氧化炉相比，具有热耗低、处理效率高（≥95%）的特点。常用的催化燃烧装置根据氧化催化剂的最佳工作温度（250~400 ℃），可实现低温氧化废气中的 VOCs，并大大节省处理废气的运行成本。含 VOCs 废气进入装置入口，经过滤器过滤后进入换热器室进行热交换，再进入燃烧器室对废气进行预加热（燃烧用氧气为废气中所含有的空气，也可通过旁路风阀补充空气），待加热至 350 ℃后由送风机将预热气体抽至催化剂室进行催化氧化。由于部分废气中含有硫、硅、磷等元素，会使贵金属催化剂中毒，因此预加热后的废气在进入催化剂室前需进行预处理。当处理后的废气进入催化剂室并与氧化催化剂接触时，催化剂将废气中的 VOCs 氧化分解成CO2 和 H2O。处理后的无害气体将被送入一次换热器，与从入口来的废气进行热交换，达到节约热源的目的。风机采用耐高温型号，放置于设备本体下游部分，目的在于使上游路径形成负压，防止气体泄漏。装置排气口预设取样孔，用于对处理后的废气进行成分检测。

现在在对有机废气进行处置废气的流程中，运用最广泛废气净化设备的办法是有机废气活性炭吸附处置办法、催化燃烧处置办法、催化氧化处置办法、酸碱中和办法、等离子处置法等好多种差别原理与办法。但是，现在等离子处置办法存在高压放电废气净化设备的题目，某些行业容易出现爆炸废气的风险特性，活性碳后期本钱又高。等离子处置技能：接纳双介质阻挠放电方式发生等离子体，所发生等离子体废气净化设备的密度是其他技能发生等离子体密度废气净化设备的1500倍，最初用于氟利昂类、哈隆类物质废气净化设备的剖析处置，后延伸至产业恶臭、异味、有毒有害气体处置。该技能节能、环保，使用范畴广，全部化工生产关键发生废气净化设备的恶臭异味简直都能够处置，并对二恶英有精良废气净化设备的剖析结果。

再根据不同的废气成分配置的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，光源接触，惰性催化剂在纳米光源以下发生催化反应，放大80-20倍光源效果，使其与废气进行充分反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率，催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化效果，通过三重处理后的废气其除臭高可达95%以上，净化、脱臭效果大大超过GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》二级排放标准，GB14554-93《恶臭污染物排放标准》。经高能紫外线光解催化氧化处理后的废气通过后端风机抽风形成负压从烟囱达标的排放到大气中。

低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，除尘设备当外加电压达到气他的着火电压时，气体分钟被击穿，产生包括电子、各种离低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，本地除尘设备使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。